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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心分析表征設(shè)備表面性能分析FDTR頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)
頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備介紹

允許進(jìn)行多功能和創(chuàng)新的納米級(jí)熱分析

√ 精確評(píng)估薄膜和微粒的導(dǎo)熱系數(shù)

√ 使用三維擴(kuò)散模型揭示各向異性的熱導(dǎo)率

√ 量化深層界面的熱邊界導(dǎo)熱系數(shù)

√ 在微觀尺度上可視化熱性能分析

產(chǎn)品型號(hào):FDTR
更新時(shí)間:2025-10-27
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:778
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市面上新技術(shù)(FDTR)

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)



頻域熱反射測(cè)量系統(tǒng)設(shè)備介紹

允許進(jìn)行多功能和創(chuàng)新的納米級(jí)熱分析

√ 精確評(píng)估薄膜和微粒的導(dǎo)熱系數(shù)

√ 使用三維擴(kuò)散模型揭示各向異性的熱導(dǎo)率

√ 量化深層界面的熱邊界導(dǎo)熱系數(shù)

√ 在微觀尺度上可視化熱性能分析


基本原理:頻域熱反射

什么是熱反射?

熱反射是材料表面相對(duì)于溫度的反射光的變化。

當(dāng)溫度變化量小于10K時(shí),熱反射呈線性變化。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

(CTR : 熱反射系數(shù))


熱反射檢測(cè)用泵浦探測(cè)方法

泵浦激光器以特定頻率調(diào)制,周期性地加熱樣品表面。同時(shí),同軸照射探針激光器,從反射的探針光中檢測(cè)出與表面溫度相關(guān)的熱反射成分熱反射信號(hào)中的相位延遲。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

(在樣品表面沉積一層金轉(zhuǎn)換器層對(duì)于有效地將泵送能量轉(zhuǎn)化為熱量以及將由此產(chǎn)生的溫度變化轉(zhuǎn)化為反射率變化是必要的。)


熱反射信號(hào)中的相位延遲

加熱信號(hào)和熱反射信號(hào)具有相同的頻率,但兩者之間存在相位延遲,這種相位延遲取決于樣品的熱物理性質(zhì)和幾何形狀。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


跨頻率的相位曲線測(cè)量

將泵浦激光器的調(diào)制頻率(加熱頻率)從低到高掃描,繪制相位延遲曲線,通常在10分鐘內(nèi)可得到相位曲線。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


數(shù)據(jù)擬合和參數(shù)提取

熱物理性質(zhì)是通過將得到的相曲線擬合到熱傳輸模型來定量評(píng)估的。該模型包括以下參數(shù)。

各層參數(shù)

跨平面和面內(nèi)熱導(dǎo)率(W/m·K)、體積比熱容(kJ/m3·K)及厚度(nm)

參數(shù)在每個(gè)接口

熱邊界導(dǎo)熱系數(shù)(MW/m2.K)

(激光點(diǎn)尺寸和泵浦激光器與探測(cè)激光器之間的偏移距離也被包括在內(nèi)作為擬合參數(shù)。)

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


頻域熱反射測(cè)量系統(tǒng)主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè):評(píng)價(jià)薄膜和襯底之間的熱邊界電導(dǎo)率, 以及散熱填料顆粒的熱導(dǎo)率, 可用于芯片熱失效分析、 電子封裝材料界面熱傳導(dǎo)評(píng)估。

熱電轉(zhuǎn)換器的材料開發(fā):用于測(cè)量薄膜和小晶粒的熱導(dǎo)率 (通 過平面和內(nèi)部) , 從而優(yōu)化熱電器件 尺寸小到納米級(jí)來降低熱導(dǎo)率 。



Part.1


通過激光掃描和微聚焦光束實(shí)現(xiàn)的功能

微尺度熱導(dǎo)率評(píng)估

通過使用微尺度激光點(diǎn)和三維熱擴(kuò)散模型,可以評(píng)估各向異性的熱導(dǎo)率。該裝置還能夠測(cè)量微尺度顆粒中的熱導(dǎo)率。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

用激光掃描擴(kuò)展FDTR功能

除了使用電動(dòng)平臺(tái)掃描進(jìn)行FDTR映射外,激光束掃描還能夠評(píng)估平面內(nèi)的熱導(dǎo)率和熱邊界傳導(dǎo)。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)



Part.2


熱物理領(lǐng)域的突破性應(yīng)用

熱導(dǎo)率表征

塊狀基材- 藍(lán)寶石和金剛石

本案例展示了在藍(lán)寶石和金剛石基板上進(jìn)行的熱導(dǎo)率測(cè)量。擬合結(jié)果顯示,藍(lán)寶石基板的熱導(dǎo)率為30.8W/m·K,而金剛石基板的熱導(dǎo)率為2820.0W/m·K,這表明即使具有熱導(dǎo)率的材料也能進(jìn)行定量評(píng)估。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


薄膜- 厚度為100納米的非晶Ge1-xSnx

本研究對(duì)四種厚度約100納米、沉積在硅基底上的非晶鍺錫薄膜的導(dǎo)熱性能進(jìn)行了研究,這些薄膜含有不同濃度的錫元素。結(jié)果表明,隨著錫含量的增加,導(dǎo)熱性能明顯降低。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)

熱邊界導(dǎo)熱系數(shù)的表征

微粒- 18um單晶氧化鋁顆粒

下圖表展示了一個(gè)案例研究,評(píng)估了粒徑為18um的單晶氧化物顆粒的熱導(dǎo)率。這些顆粒具有粗糙/多面體結(jié)構(gòu),因此我們精化物顆粒的熱導(dǎo)率。這些顆粒具有粗糙/多面體結(jié)構(gòu),因此我們精射信號(hào)。擬合結(jié)果顯示,這些顆粒的熱導(dǎo)率與塊狀氧化鋁相當(dāng)。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


各向異性材料- 塊狀單晶La5Ca9Cu24O41(LCCO)

本研究通過將熱導(dǎo)率分解為橫向和縱向分量進(jìn)行擬合,揭示了塊狀單晶La5Ca9Cu24O41(LCCO)材料的各向異性熱導(dǎo)特性。結(jié)果表明:由于磁振子效應(yīng),其橫向熱導(dǎo)率較高;而縱向熱導(dǎo)率較低,主要由源于聲子效應(yīng)。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


熱邊界導(dǎo)熱系數(shù) - PVD與濺射

通過對(duì)比實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),我們揭示了采用物理氣相沉積(PVD)與濺射工藝制備金基板時(shí),其在藍(lán)寶石襯底界面處的熱邊界傳導(dǎo)系數(shù)(TBC)變化規(guī)律。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示:PVD工藝下的TBC值為138.0兆瓦/m2·K,而濺射工藝則達(dá)到306.5兆瓦/m2·K,襯底的熱導(dǎo)率在兩種工藝下類似。

頻域熱反射顯微測(cè)量系統(tǒng)


熱邊界導(dǎo)熱率 - 熔融結(jié)合硅界面

一項(xiàng)模擬研究探討了FDTR能否檢測(cè)融合鍵合硅晶圓界面處復(fù)合熱邊界導(dǎo)熱系數(shù)(c-TBC)的變化--該參數(shù)綜合反映了多層介質(zhì)層與界面的共同作用在熔融硅晶圓界面。假設(shè)c-TBC為4.0MW/m2·K 且波動(dòng)幅度±40%,光束直徑為50um,結(jié)果顯示,20um厚度以下的硅層,可以在10-50 kHz低頻范圍內(nèi)獲得有效的測(cè)量數(shù)據(jù)。

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